的覆膜。
晶圆完成这项流程后,接下来便是涂抹光刻胶。
值得一提的是,这可不是霓虹那边公司生产出来的高端光刻胶。
而是来源自徐昀碰巧合成的全新光刻胶,检测表现出来的数据远远超过对方。
关键成本方面更加低廉。
不过由于先前国内并不具有高端光刻机,所以一直没有办法实际测试。
今天总算能代替其真正价值。
只要表现的足够稳定,那么接下来便可以批量生产保证芯片的制造。
对此侯盛昌则最为高兴,想到因为徐昀科学院在光刻胶领域节省了大量时间和金钱,便让人心情舒爽。
要知道光刻胶可也是芯片制造中的重要环节,是必须要攻克的存在。
以往国内没有高端光刻机,也就未朝高端光刻胶领域过多发展。
进行研究的皆以低端光刻胶为主。
根本无法使用在光刻机上。
幸好徐昀机缘巧合下合成出了全新光刻胶,否则空有光刻机没有高端光刻胶,照样无法完成今天的测试。
哪怕成功交付,也解决不了半导体领域问题。
毕竟就算立刻投入大量精力去研究,也不见得能在短时间内研发出高端光刻胶。
“这次可要感谢徐教授的光刻胶啊,要不然今天的测试就只能进行到这步了。”
或许是侯盛昌心情不错,这个时候也不忘提起徐昀眼神中满是喜爱。
再一次为自己让徐昀担任项目负责人的重大决定感到庆幸。
说起来当初也正是徐昀的光刻胶在全球引起比较大的言论热度,他这才下定决心邀请徐昀过来研发首台国产极紫外光刻机。
这时旁边的罗长辉也忍不住说:“徐教授的光刻胶确实解决了我们很大问题。”
徐昀听着两人给自己戴高帽,心里也是哭笑不得。
当即开口回应道:“毕竟是新型光刻胶,具体能否达到稳定的效果,暂时还不得而知呢。”
他这话自然不是谦虚。
这种新型光刻胶从研发出来并没有经过实际的高端芯片测试,且目前生产出来的存量也有限,很多地方确实需要看最终结果。
比如对于晶圆厂来说最重要的成品率。
如果使用这种光刻胶光刻的芯片残次率较大,那就算光刻胶成本很低,也绝对不会继续使用。
这也是新型光刻胶很难在国际上有市场的原因。
基本晶圆厂绝对不会冒险。
否则所造成的损失将直接影响到利润。
侯盛昌这会显然已经对徐昀无比信任,闻言伸手拍了拍徐昀的肩膀宽慰道:“没有你就没有国产极紫外光刻机的今天,要多给自己点自信才行。”似乎丝毫不觉得今天测试会有问题。
随即光刻机将极紫外光通过镜片,照在前面准备好的集成电路掩膜版上。
将设计师绘制好的电路图曝光在晶圆上。
后面则需要溶解光刻胶。
使光刻过程中曝
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